第(1/3)頁(yè) 光刻機(jī)很難。 真的非常非常難。 難度系數(shù)是氫彈的十倍。 哪怕傾舉國(guó)之力都不可能在短期內(nèi)拿得下。 以上這些,是經(jīng)常充斥在衛(wèi)明耳邊的話,聽得他幾乎耳朵長(zhǎng)繭。 真的有那么難么? 這些天,親自進(jìn)入研發(fā)工廠,了解透了光刻機(jī)的工作原理,在“老板工作間”內(nèi),利用體內(nèi)的小黑,輕松打磨出幾十個(gè)合格的高精密零件,以及20塊的“鍋蓋”鏡片——每塊“鍋蓋”鏡片,由四十層玻璃疊加而成,表面凸起不得超過1納米。 “很簡(jiǎn)單么,好像沒什么難的。” 看著面前成批成批的精度完全合格的零件,衛(wèi)明撇了撇嘴說道。 “到底難在了什么地方?” “光源發(fā)生器非常難?!? 蒲偉才說道:“要制造出波長(zhǎng)13.5納米的極紫外光,必須要用193納米波長(zhǎng)的深紫外光,擊打自由落體的金屬錫滴,而且要在極短的時(shí)間內(nèi),連續(xù)擊中錫滴兩次,每秒重復(fù)5萬(wàn)次,才能產(chǎn)生足夠強(qiáng)度的極紫外光?!? 要知道金屬錫滴的直徑只有二十微米。 自由落體的過程中,不僅要被激光擊中,由水滴狀攤平成圓餅狀,再進(jìn)行第二次擊打,才能擊發(fā)出最強(qiáng)烈的極紫外光……整個(gè)過程,完全是動(dòng)態(tài)中發(fā)生的,如同用繡花針擊中蒼蠅,而且是連續(xù)兩次。 并在一秒內(nèi),重復(fù)五萬(wàn)次這套操作。 “你不是說已經(jīng)解決了光源問題了么?而且能源利用率達(dá)到了5%?”衛(wèi)明不解的道。 “光源是解決了,是因?yàn)槲矣玫膿舸蚬庠?,是用特殊晶體擊發(fā)出的132納米光,能量利用率肯定比193納米光高的多,但是要想制造強(qiáng)度足夠的13.5納米波長(zhǎng)的極紫外光,還是得通過擊打錫滴的方式達(dá)到,這是唯一可行的路徑?!? “也就是說,你們只搞定了擊打光源,然后就說搞定了光源……這兩個(gè)不是一碼事吧?” 衛(wèi)明眉頭皺了起來(lái)。 “衛(wèi)總,我們不是搞虛假宣傳,可是長(zhǎng)期的科學(xué)研究,如果沒有點(diǎn)成果的話,誰(shuí)會(huì)關(guān)注我們,上面怎么給我們撥款?所以哪怕只是部分突破,也得重點(diǎn)宣傳一番。” 一旁的向廣林解釋說道。 “其實(shí)我們正在攻克的最后一項(xiàng)難題,就是錫滴的擊打頻率問題。” 蒲偉才也道:“我們已經(jīng)解決了連續(xù)擊打問題,但每秒最多重復(fù)5000次,不過我們的能量利用率更高,只要能做到每秒重復(fù)2萬(wàn)次,就能得到足夠使用的光照強(qiáng)度了?!? “所以我們的能量利用率不是沒有意義,每秒2萬(wàn)次比每秒5萬(wàn)次,要明顯容易實(shí)現(xiàn)多了。” “每秒2萬(wàn)次……” 衛(wèi)明沉吟了一下,道:“還缺什么條件,阻止你們達(dá)到這個(gè)頻率?” “精度,控制系統(tǒng)的精度?!? 蒲偉才說道:“如同一個(gè)時(shí)鐘,同時(shí)精確掌控2萬(wàn)滴錫滴的自由下落,以及4萬(wàn)次的擊打,時(shí)間上,每秒內(nèi)的誤差,不得超過十億分之一秒;距離上,每秒不能超過1納米,并且還要設(shè)計(jì)一套‘偏差糾正’系統(tǒng),只要誤差累積過大,就會(huì)自動(dòng)糾正,讓系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定的運(yùn)轉(zhuǎn)下去?!? “目前我們正在全力攻克控制系統(tǒng),糾偏系統(tǒng)稍稍靠后,但也安排了團(tuán)隊(duì)進(jìn)行攻關(guān)。” “當(dāng)然如果從島國(guó)進(jìn)口的相關(guān)零件,很快能到我們手中,可能三個(gè)月內(nèi),我們就能實(shí)現(xiàn)擊打頻率突破2萬(wàn)次?!? 島國(guó)? 三個(gè)月? 第(1/3)頁(yè)