第(1/3)頁

    時間轉(zhuǎn)眼就到了第二天。

    測試結(jié)果非常喜人，昆侖集團(tuán)的光學(xué)系統(tǒng)，包括最重要的物鏡在內(nèi)，一次就點亮了，并且成功流片。

    但與此同時，這次實驗也發(fā)現(xiàn)了不小的問題，中科光電院負(fù)責(zé)的光源，波長雖然達(dá)標(biāo)，但卻存在功率太低的問題，導(dǎo)致硅片曝光不夠，即便用系統(tǒng)饋贈的光學(xué)系統(tǒng)和超級物鏡，也沒辦法挽救。

    “情況怎么樣了？”

    高原跑去睡了一覺，回到實驗室打了個哈欠。

    楚落落小臉煞白，這可憐的孩子，激動加擔(dān)心，令她昨晚都沒睡好，而高原就不同了，他不僅舒舒服服睡一覺，還順便進(jìn)入系統(tǒng)空間學(xué)習(xí)知識。

    “還在調(diào)整光源，他們太拖后腿了，我看實在不行，就用咱們自己的光源吧！”楚落落心思單純，也沒有多想，當(dāng)即說道。

    高原蹙眉，看著實驗室里，一群穿著白色防塵服的工程師，正在對光源發(fā)生器進(jìn)行調(diào)試，整個測試也因此陷入停滯，大家都在等待。

    看來他們的激光功率的確有問題，而且不像一時半刻能夠解決的樣子。

    想到這里，高原走進(jìn)了項目辦公室。

    由于是聯(lián)合項目，各家老總都來了，所以辦公室里人比較多，一個個都顯得很疲憊。

    “杜所長?！备咴瓕﹂L春光機所的杜維明說道：“這次我們帶來了超紫外光源，實在不行，就先測試超紫外激光吧，光電所的深紫外放在后面測?！?

    高原帶了光源，這件事他早就通報過的，在場的人都很清楚。

    只是大家心里都有點疑惑，超紫外光源是個什么東西？以前沒聽說過??！

    光電所做的光源叫紫外，或者說深紫外激光，波長193nm，是目前全球應(yīng)用最廣泛的存在，從微米級芯片，一直到14nm芯片，都可以使用這種光源。

    半導(dǎo)體代工巨頭臺積電，甚至用深紫外激光拿下了7nm工藝，令全球為之震撼，徹底打響了自己半導(dǎo)體領(lǐng)域第一天王山的名號。

    所以中科光電所測試深紫外光源，高原一點意見都沒有，這種光源雖然做不出頂級工藝，但勝在便宜啊，性價比高，并不是說高原拿出超紫外光源后，深紫外光源就不需要了。

    合格的光刻機臺，應(yīng)該同時兼容好幾種光源，好幾種工藝，所以高原讓中科光電所先測試深紫外光，打算等他們弄好了，再測試自己的超紫外。

    誰知道光電所一整天下來，毫無進(jìn)展，這讓高原有點按捺不住了，提出讓光電所的工程師休息一下，人有時候就是這樣，越忙越忙，弄不好大家睡一覺，洗個熱水澡，茅塞頓開，困難就解決了。

    杜維明蹙眉道：“把光源發(fā)生器拆下來，再換上你們的，恐怕要大半天時間呢，要不再等等吧，光源又不是電燈泡，換來換去的很麻煩，而且每次拆裝，精度還要再次校準(zhǔn)?！?

    杜維明說的也是實話，光刻機又不是縫紉機，不能整天拆來拆去的，稍微一動，精度就要重新校準(zhǔn)，很麻煩的。

    高原來的時候，光電所的深紫外光源，就已經(jīng)裝在測試機臺上了，否則高原一定會要求先測試自己的光源。

    然而，這番對話讓光電院的龔欣迎院長，臉色一陣紅一陣白，有點坐不住了。

    都是做科研的，龔院長雖然一向?qū)黾瘓F(tuán)敬佩有加，但這也太傷人了吧！

    好像純粹是因為太麻煩，才勉強讓自己的光源留在機臺上，要是拆裝容易的話，早就把自己的光源拆下來扔了！
    第(1/3)頁