第20章 光刻機-《開局一座工業園,造出光刻機》
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“哦!”張帆屁顛屁顛的就小跑到了云凌峰身邊,內心還是一熱的,他是記者,雖然幫云凌峰說話,但他最重要的還是采訪。
這一聲,工部尚書盧風也注意了過來。
“天龍邸報總臺記者,張帆!”云凌峰主動介紹。
“嗯!”盧風點了點頭,便不再關注。
可這卻是將身后的隴西郡郡守,兩大城主給羨慕了一番。
云凌峰親自介紹,雖然工部尚書沒有多說,可就點頭示好,就足夠了。
走過身份識別通道。
前方的景象就豁然開朗。
只見一個超過一千平米的大型寬敞的空間印入眼前。
就在所有人的注視之下。
一臺高達三米,有兩個工作臺,近乎占到一千平米空間一半的位置。
第一眼看過去,這東西更像是一個方陣矩陣,是一個整體。
此時工作臺并沒有運轉,組裝平臺也沒有多余的人。
云凌峰全程參與,瞅著光刻機只剩下自豪的道:“諸位,這,就是光刻機!”
(上圖)
但就在云凌峰還沒有話音未落。
跟隨進來的科學院陳院士,半導體徐院士,研究院劉院士,八零八研究院李院士幾人,眼睛都直了。
如果看到了稀世珍寶一般,越過云凌峰,七個人驚疑不定的杵在了光刻機前。
都不敢上前觸摸,深怕自己的臟手玷污了光刻機,只敢遠遠的觀看。
“這,這,這就是1納米光刻機!”
“我滴天,有生之年能夠親眼見到1納米光刻機,這輩子,值了!”
“哈哈哈,我看到了什么,比5納米光刻機還要精密的透鏡組合系統,這究竟是怎么做到的。”
“曝光系統可分為照明光學系統和投影光學系統,簡單來說,就是光源發出一定波長的光線被吸收后,通過反射鏡形成所需要的光照方式,照在掩膜上。”
“掩膜同樣可以反射,經過反射后光已經包含了圖形信息,通過另一組反射鏡投影在晶圓上,實現曝光!”
“這應該就是傳感器系統了,不過傳感器的數量,比起5納米光刻機,足足多了三倍。”
“云總,我們可以親眼看到加工晶圓嗎?”
幾個最高規格院士,無比振奮的回頭目光真摯的盯著云凌峰。
云凌峰點了點頭,讓幾名技術人員開啟了光刻機。
這需要點時間,需要幾個階段的開啟。
工部尚書盧風也是非常激動的躊躇在地。
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