第九十五章 狂熱-《我體內有個黑洞》
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老板工作間。
一個又一個的零件被打磨了出來。
得心應手地操控著小黑,工業加工方面,衛明不斷創造出精度的極限。
只要先制造出一批精確度達到0.1納米的“尺子”。
再根據這些尺子,加工所需要的零件,建立一套可以參考對照的精準體系。
如果出現累積誤差,就手動修正一番,讓整體的誤差范圍不會超過1納米。
甚至衛明會親自參與到耗費時間極多的“組裝”過程中,利用小黑的掃描半徑,其他操作手至少得半小時才能裝好的一個零件,他3分鐘內就能實現精確安裝。
并且修正了許多地方的安裝誤差。
讓系統的穩定性大大提高。
讓13個精確的子系統,逐漸變成了一個能進行精確聯動的大系統。
于是接下來的半個月。
光刻機研發部,刷新了一個又一個數據記錄,每天都有爆發般的歡呼,從廠房里發出。
“錫滴釋放頻率每秒5萬次,持續工作33分27秒。”
“每秒5萬次,持續工作38分15秒!”
“每秒5萬次,持續工作47分48秒!”
“每秒5萬次,持續工作59分52秒……接近一個小時,光源系統磨合到完美程度,這是不可能被超越的一個極限!”
不過還有一個極限,不是不能突破。
“既然我們的光源系統穩定性這么高,索性,我們不做復雜麻煩的‘糾偏系統’算了,再往里面加入一組光源,構成‘雙光源系統’,光刻機正常使用的情況下,只讓一組光源進行工作,每次工作半個小時,另一組光源進入休息調整狀態,半小時后接替工作,輪流換班,減少累積誤差。”
“此外這臺機器還有一個‘狂暴模式’,那就是讓兩套光源系統,同時投入工作,每秒10萬粒的錫滴,20萬次的擊打,產生超過1250瓦強度的極紫外光,這個光強是艾思邁光刻機250瓦的5倍之高,比普通duv光刻能量也強悍的多。”
“狂暴模式下,這臺光刻機每小時至少能處理600片以上的晶圓,艾思邁只能處理125片,我們的效率能高四五倍!”
“而且能量越高,光刻出的清晰度、銳利度也越高,這能明顯提高芯片的質量和良率,減少多重曝光的次數,更容易實現3納米芯片的制造,幫助我們從開始的7納米,越過中間的5納米,快速過渡到最新的3納米,實現跳躍式的發展!”
蒲偉才的技術團隊中,一位名叫羅聰的研究員,提出了一個叫“狂暴模式”的構想。
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